SEMICON Japan 2021

2021/12/15-17

2021年12月15日(水)から12月17日(金)までの3日間、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2021」に出展いたします。
本展示会では、最新のウェハ搬送ロボットを実際のデモ動画を交えてご紹介致します。
ご来場の際は是非、川崎重工ブース（前工程ゾーン 東5ホール 5539）にお立ち寄り下さい。　
ご来場を心よりお待ちしております。

出展内容

■最新のウェハ搬送ロボットのご紹介
・NTJ10/NTJ20
　　-独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現しました。
・TTJ20
　　-テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送が可能です。
・NX420
　　-コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能です。
・NTH20
　　-回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP装置に対応しています。
※実機展示はNTJ10のみです。