クリーンロボット

クリーン搬送で世界をリードするカワサキが未来に向けたベストソリューションをお届けします。

産業用ロボットのパイオニアメーカのカワサキがクリーンロボットの世界でも、未来の扉を開きます。
1969年、日本で初の産業用ロボットを生産したカワサキが、クリーンロボットの開発に着手したのが1995年。従来になかった独創的な搬送システムを提案しながらラインアップを整えてきました。

ロボットを含めた自動化分野で100を超える特許を持ち、世界中に14万台以上のロボットを納入してきたカワサキが、グローバルな調達・生産・サービス体制を確立し、ロボットや周辺装置はもちろん、オートメーションシステムのエンジニアリングまで、クリーン業界の幅広いニーズにお応えしてきました。

このように世界のクリーン搬送分野をリードしているカワサキが、ハイスループットを可能とし、微細化技術に必要な低パーティクル性能や、次世代の450mmウェハ対応など、未来に向けたベストソリューションをお届けして参ります。

クリーンロボット:

詳細については、下のシリーズをクリックしてください。
注記:画像は一定の尺度ではありません。

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  • Kawasaki NT series

    NTシリーズ

    コモンプラットフォーム対応
    4FOUPにアクセス可能
    300mm・450mmウェハー

    NTシリーズ
  • Kawasaki NS series

    NSシリーズ

    水平多関節型
    安定したウェハ搬送を実現
    300mmウェハー

    NSシリーズ
  • Kawasaki NX series

    NXシリーズ

    小さい最小旋回範囲
    最小回転半径508㎜を実現
    300mmウェハー

    NXシリーズ
  • Kawasaki TT series

    TTシリーズ

    テレスコピック型
    ロングストロークのZ軸とNTアーム

    TTシリーズ
  • Kawasaki TX series

    TXシリーズ

    テレスコピック型
    ロングストロークのZ軸とNXアーム

    TXシリーズ
  • 真空ロボット

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