TTS시리즈 로봇

TTS 시리즈는 1대의 로봇으로 2FOUP에서 3FOUP까지의 EFEM에 주행장치 없이도 대응이 가능. 가와사키 독자의 구동기구로 고정도, 고강성 동작을 실현. 또한, 상하축에 텔레스코픽 기구를 채용하여 낮은 최저 패스라인과 높은 위치에도 운반이 가능.
  • NTS20

    TTS20

    *표준사양에 핸드는 제외입니다.

TTS시리즈:

TTS10 싱글 핸드
TTS20 듀얼 핸드

용도:

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레이아웃 사례

TTS 시리즈는 주행 장치 없이 2~3FOUP까지의 EFEM에 적용 가능.

스펙 보기

TTS시리즈는 사양

항목 표준 옵션
형식 TTS10 TTS20
기본 구조 텔레스코픽형 수평다관절형
싱글 핸드 듀얼 핸드
동작 자유도(축) 4 5
동작 범위 θ1축(회전・JT2)(°) 340
Z축(상하・JT3)(㎜) 740
θ2축(회전・JT4)(°) 340
H1축(회전・JT6)(°) 340
H2축(회전・JT7)(°) 340
최대 리치(mm) 1,066
위치반복정밀도(mm)*1 ±0.1(웨이퍼 중심)
클린도*2 ISO 클래스1
핸드 사양*3 에지 그립 /진공
컨트롤러 D60 티치 펜던트
분리 하네스(1~5m)*4 조작 박스
소프트웨어 표준 소프트웨어 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
설명서 취급설명서
통신커맨드 설명서
종합 패키지 소프트웨어 (K-Fast) 도입안내서
기타 얼라이너
매핑 센서

*1:ISO9283에 준거하였습니다.

*2:당사 클린 부스 내에서의 계측

*3:표준사양에 핸드는 제외입니다.

*4:분리하네스는 1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m 길이에서 선택해 주세요.

           

상세사양 등은 각 지역 영업담당자에게 문의해 주세요.

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