NTS시리즈 로봇

NTS 시리즈는 1대의 로봇으로 2FOUP에서 3FOUP까지의 EFEM에 주행장치 없이도 대응이 가능. 가와사키 독자의 구동기구로 고정도, 고강성 동작을 실현.
  • NTS10

    NTS10

    *표준사양에 핸드는 제외입니다.

NTS시리즈:

NTS10 싱글 핸드
NTS20 듀얼 핸드

용도:

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레이아웃 사례

NTS 시리즈는 주행 장치 없이 2~3FOUP까지의 EFEM에 적용 가능.

스펙 보기

NTS시리즈는 사양

항목 표준 옵션
형식 NTS10 NTS20
기본 구조 수평다관절 암
싱글 핸드 듀얼 핸드
동작 자유도(축) 4 5
동작 범위 θ1축(회전・JT2)(°) 340
Z축(상하・JT3)(㎜) 470
θ2축(회전・JT4)(°) 340
H1축(회전・JT6)(°) 340
H2축(회전・JT7)(°) 340
최대 리치(mm) 1,066
위치반복정밀도(mm)*1 ±0.1(웨이퍼 중심)
클린도*2 ISO 클래스1
핸드 사양*3 에지 그립/진공
대응 컨트롤러 D60 티치 펜던트
분리 하네스(1~5m)*4 조작 박스
소프트웨어 표준 소프트웨어 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
설명서 취급설명서
통신커맨드 설명서
종합 패키지 소프트웨어 (K-Fast) 도입안내서
기타 얼라이너
매핑 센서

*1:ISO9283에 준거하였습니다.

*2:당사 클린 부스 내에서의 계측

*3:표준사양에 핸드는 제외입니다.

*4:분리하네스는 1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m길이에서 선택해 주세요.

           

상세사양 등은 각 지역 영업담당자에게 문의해 주세요.

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