크린로봇

크린 반송 면에서 세계를 리드 하는 가와사키가 미래를 향한 베스트 솔루션을 제안합니다.

산업용 로봇의 선구자 역할 메이커인 가와사키가 크린로봇 세계에서도, 미래의 문을 열겠습니다.
1969년, 일본에서 처음 산업용 로봇을 생산한 가와사키가 크린 로봇 개발에 착수한 것이 1995년. 종래에 없던 독창적인 반송 시스템을 제안하면서 라인 업을 정돈해 왔습니다.

로봇을 포함한 자동화 분야에서 100을 넘는 특허를 가지고 전세계 14만대 이상의 로봇을 납품한 가와사키가 글로벌한 조달・생산・서비스 체제를 확립하여 로봇이나 주변장치는 물론 오토메이션 시스템의 엔지니어링까지, 크린 업계의 폭넓은 요구에 응답해 왔습니다.

이와 같이 세계의 크린 반송 분야를 리드하고 있는 가와사키가 하이 스루 풋(High Throughput)을 가능하게 하여 미세화 기술에 필요한 저 파티클 성능이나 차세대의 450 mm웨이퍼 대응 등 미래를 향한 베스트 솔루션을 전달합니다.

크린로봇:

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  • Kawasaki NT시리즈

    NT시리즈

    커먼 플랫폼 대응
    4FOUP에 액세스 가능
    300 mm・450 mm wafer

    NT시리즈
  • Kawasaki NS시리즈

    NS시리즈

    수평다관절형
    안정된 웨이퍼 반송 실현
    300mm wafer

    NS시리즈
  • Kawasaki NX시리즈

    NX시리즈

    작은 최소 선회 범위
    최소 회전 반경 508 mm를 실현
    300mm wafer

    NX시리즈
  • Kawasaki TT시리즈

    TT시리즈

    텔레스코픽형
    롱 스트로크의 Z축과 NT 암

    TT시리즈
  • 진공로봇

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