NTSシリーズ

NTSシリーズは一台のロボットで2FOUPから3FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応可能です。また、カワサキ独自の駆動機構により高精度・高剛性な動作を実現しています。

NTSシリーズ:

NTS10 シングルアーム
NTS20 ダブルアーム

NX520

NTS10

※標準仕様にハンドはついていません。

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レイアウト例


●NTSシリーズは走行装置なしで2~3FOUPまでのEFEMに対応可能。

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NTSシリーズ 仕様

項目 標準 オプション
型式 NTS10 NTS20
基本構造 水平多関節型
アーム シングルアーム ダブルアーム
自由度 (軸) 4 5
動作範囲 θ1軸 (回転・JT2) (°) 340
Z軸 (上下・JT3) (㎜) 470
θ2軸 (回転・JT4) (°) 340
H1軸 (回転・JT6) (°) 340
H2軸 (回転・JT7) (°) 340
最大リーチ (mm) 1,066
位置繰り返し精度 (mm) ※1 ±0.1 (ウェハ中心)
クリーン度 ※2 ISOクラス1
ハンド仕様 ※3 エッジグリップ/バキューム
コントローラ / 電源容量 D60 / 最大1.0kVA ティーチペンダント
分離ハーネス (1~5m) ※4 操作BOX
ソフトウェア 標準動作ソフトウェア KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
マニュアル 取扱説明書
通信コマンド説明書
総合パッケージソフトウェア (K-Fast) 導入手順書
その他 アライナ
マッピングセンサ

※1:ISO9283に準拠しています。

※2:当社クリーンブース内の計測によります。

※3:標準仕様にハンドはついていません。

※4:分離ハーネスは1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5mから長さを選択してください。

           

詳細仕様等は各地区営業担当者までお問い合わせください。

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