無塵室機械手臂

適用半導體與電子業界

高性能無塵室專用機器手臂

川崎機器人提供領先業界的全系列適用於半導體和電子業界的無塵室專用機械手臂。這些機械手臂專為無塵室應用設計,包括ISO Class 1。高速度、高精度以及伸縮範圍使這些機械手臂適合傳送精密的半導體晶圓、LCD面板、有機EL和太陽能面板。

無塵室機械手臂

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