TTS系列無塵室機械手臂

TTS系列無塵室機械手臂在無須搭配走行装置之下對應從2 FOUP到3 FOUP的EFEM裝置。具備川崎自主開發的驅動系統,能夠實現高速平穩及高精度的動作。 同時,由於採用了伸縮式上下軸的剛硬結構,可以將晶圓高速傳送至高處或是低處位置。


該系列符合SEMI-F47標準和SEMI-S2標準。

TTS系列無塵室機械手臂:

TTS10動作自由度-4軸
TTS20動作自由度-5軸

Applications:

TTS

TTS20

*標準無塵室機械手臂不包含夾爪。

圖面範例


TTS系列無塵室機械手臂在無須搭配走行装置之下,可對應從2 FOUP到3 FOUP的EFEM裝置。

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TTS系列規格

機種 標準 選配
TTS10 TTS20
結構 水平伸縮關節型 -
手臂 單臂 雙臂 -
動作自由度(軸) 4 5 -
動作範圍 θ1軸(旋轉・ JT2)(°) 340 -
Z軸(上下・ JT3)(㎜) 740 -
θ2軸(旋轉・ JT4)(°) 340 -
H1軸(旋轉・ JT6)(°) 340 -
H2軸(旋轉・ JT7)(°) - 340 -
最大臂長範圍(mm) 1,066 -
重複精度(mm)* 1 ±0.1(晶圓中心) -
潔淨度* 2 ISO Class 1 -
夾爪規格* 3 - - 邊緣夾持/真空吸附
控制器/電源要求 D60 /最大值1.0kVA 示教器
機械手臂線束(1-5m)* 4 操作盒
軟體 操作用標準軟體 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊 操作手冊 -
通訊指令手冊 -
導入步驟整合軟體包(K-Fast) -
其他 - 中心校準器
- 晶圓檢測傳感器

* 1:該數值以ISO9283為基準。

* 2:該數值於無塵室內測量。

* 3:標準機械手臂不包含夾爪。

* 4:提供機械手臂用線束長度1至5米(1, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5,和5)。


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