Robot della serie NTS

Il robot della serie NTS può accedere a 2 e 3 FOUP di EFEM senza una traccia. Il sistema di azionamento appositamente progettato consente al robot di muoversi in modo incredibilmente fluido e con alta precisione.


La serie è conforme allo standard SEMI-F47 e allo standard SEMI-S2.

ROBOT SERIE NTS:

NTS10 Grado di libertà - 4 assi
NTS20 Grado di libertà - 5 assi

Applications:

NTS

NTS10

* Il braccio del robot standard non include una mano.

Esempio di layout


La serie NTS può essere utilizzata da 2 a 3 FOUP di EFEM senza binario.

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vedi spec

SPECIFICHE della serie NTS

Modello Standard Opzione
NTS10 NTS20
Struttura Tipo articolato orizzontale -
Braccio Braccio singolo Doppio braccio -
Grado di libertà (assi) 4 5 -
Gamma di movimento θ1 asse (rotazione ・ JT2) (°) 340 -
Asse Z (su-giù ・ JT3) (㎜) 470 -
θ2 assi (rotazione ・ JT4) (°) 340 -
Asse H1 (rotazione ・ JT6) (°) 340 -
Asse H2 (rotazione ・ JT7) (°) - 340 -
Portata massima (mm) 1,066 -
Ripetibilità (mm) * 1 ± 0,1 (centro wafer) -
Pulizia * 2 Classe ISO 1 -
Specifica della mano * 3 - - Pinza per bordi / Aspirapolvere
Controller D60 Teach ciondolo
Robot haness (1-5 m) * 4 Scatola di operazione
Software Software standard per oparazione KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
Manuale Manuale operativo -
Manuale dei comandi di comunicazione -
Procedura di introduzione per software a pacchetto integrato (K-Fast) -
Altri - Allineatore
- Sensore di mappatura

* 1: la figura è conforme a ISO9283.

* 2: La cifra è misurata nella nostra cabina pulita.

* 3: Il braccio del robot standard non include una mano.

* 4: è disponibile un'imbracatura per robot con una lunghezza da 1 a 5 metri (1, 2, 2,5, 3, 3,5, 4, 4,5 e 5).


Per maggiori dettagli, contatta i rappresentanti Kawasaki nella tua regione.

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