Robot de la serie NTS

El robot de la serie NTS puede acceder a 2 y 3 FOUP de EFEM sin pista. El sistema de accionamiento especialmente diseñado permite que el robot se mueva con increíble suavidad y alta precisión.


La serie cumple con el estándar SEMI-F47 así como con el estándar SEMI-S2.

ROBOTS DE LA SERIE NTS:

NTS10 Grado de libertad - 4 ejes
NTS20 Grado de libertad - 5 ejes

Applications:

NTS

NTS10

* El brazo robótico estándar no incluye ven con una mano.

Ejemplo de diseño


La serie NTS se puede utilizar para 2 o 3 FOUP de EFEM sin pista.

DESCARGA DE DATOS

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ESPECIFICACIONES DE LA SERIE NTS

Modelo Estándar Opción
NTS10 NTS20
Estructura Tipo articulado horizontal -
Brazo Brazo único Brazo doble -
Grado de libertad (ejes) 4 5 -
Rango de movimiento θ1 eje (rotación ・ JT2) (°) 340 -
Eje Z (arriba-abajo ・ JT3) (㎜) 470 -
θ2 ejes (rotación ・ JT4) (°) 340 -
Eje H1 (rotación ・ JT6) (°) 340 -
Eje H2 (rotación ・ JT7) (°) - 340 -
Alcance máximo (mm) 1,066 -
Repetibilidad (mm) * 1 ± 0,1 (centro de la oblea) -
Limpieza * 2 ISO Clase 1 -
Especificación de mano * 3 - - Pinza de borde / Vacío
Controlador D60 Enseñar colgante
Haness del robot (1-5 m) * 4 Caja de operación
Software Software estándar para oparación KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
Manual Operación manual -
Manual de comando de comunicación -
Procedimiento de introducción para el paquete de software integrado (K-Fast) -
Otros - Alineador
- Sensor de mapeo

* 1: La figura cumple con ISO9283.

* 2: La cifra se mide en nuestra cabina limpia.

* 3: El brazo robótico estándar no incluye una mano.

* 4: Hay disponible un arnés de robot con una longitud de 1 a 5 metros (1, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5 y 5).


Para obtener más detalles, comuníquese con los representantes de Kawasaki en su región.

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