Reinraumroboter

Halbleiter und Elektronik

HOCHLEISTUNGSFÄHIGE SPEZIALISIERTE HANDHABUNGSROBOTER

Kawasaki hat eine umfangreiche Palette von branchenführenden Handhabungsrobotern für Halbleiter und Elektronik im Angebot. Diese Roboter sind speziell konstruiert für Anwendungen im Reinraum, einschließlich ISO-Klasse 1. Geschwindigkeit, Genauigkeit und Reichweite machen diese Roboter ideal für die Handhabung von empfindlichen Halbleiterwafern, LCD-Anzeigen, organischen Leuchtdioden und Solarmodulen.

Reinraumroboter:

Klicken Sie auf eine Serie, um mehr zu erfahren. Hinweis: Die Bilder sind nicht maßstabsgerecht.

  • Kawasaki NT series

    NT Serie

    Große Reichweite
    Unabhängiger Achsantrieb
    300 & 450-mm-Wafer

    NT Serie
  • Kawasaki NS series

    NS Serie

    Klassisches zylindrisches
    Design

    Rotationsantrieb
    300-mm-Wafer

    NS Serie
  • Kawasaki NX series

    NX Serie

    Neuestes NS-Design
    Unabhängiger Achsantrieb
    300-mm-Wafer

    NX Serie
  • Kawasaki TT series

    TT Serie

    Teleskopisches
    Sockel-Design

    Große vertikale Reichweite
    NT-Manipulator mit
    großer Reichweite

    TT Serie
  • Wafer handling vacuum robots

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