TTS Serie Roboter

Der Roboter der TTS Reihe kann ohne Schiene auf 2 oder 3 EFEM FOUPs zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit höchster Präzision zu bewegen. Sein fester Teleskopmechanismus ermöglicht ein schnelles Handling in hohen und niedrigen Positionen.
  • TTS10

    TTS10

    *Der Standard-Roboterarm beinhaltet keinen Greifer.

TTS SERIE ROBOTER:

TTS10 Einzelarm
TTS20 Doppelarm

Anwendungen:

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Layoutbeispiel

Ein einzelner Roboter der TTS Serie kann ohne Schiene auf alle EFEMs mit 2 bis 3 FOUPs zugreifen.

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TTS Serie SPEZIFIKATIONEN

Artikel Standard Option
Modell TTS10 TTS20 -
Bauweise Teleskopischer Horizontaler Gelenktyp -
Arm Einzelarm Doppelarm -
Freiheitsgrade (Achsen) 4 5 -
Bewegungsbereich θ1-Achse (Rotation JT2) (°) 340 -
Z-Achse (auf/ab JT3) (㎜) 740 -
θ2-Achse (Rotation JT4) (°) 340 -
H1-Achse (Rotation JT6) (°) 340 -
H2-Achse (Rotation JT7) (°) - 340 -
Maximale Reichweite (mm) 1066 -
Wiederholgenauigkeit (mm) ✽1 ±0.1 (Wafer-Mittelpunkt) -
Reinheit ✽2 ISO-Klasse 1 -
Handspezifikation ✽3 - - Kantengreifer / Vakuum
Steuergerät D60 Teach Pendant
Roboterkabel (1-5m) ✽4 Zusätzliche Bedieneinheit
Software Standard-Software für den Betrieb KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
Handbuch Bedienungshandbuch -
Communication command manual -
Einführungsverfahren für integrierte Paketsoftware (K-Fast) -
Andere - Aligner
- Mapping Sensor

✽1: Die Abbildung entspricht ISO9283.

✽2:Gemessen in unserer Reinraumkabine.

✽3:Der Standard-Roboterarm beinhaltet keinen Greifer.

✽4:Wählen Sie ein Roboterkabel mit einer Länge zwischen 1 und 5 Metern (1m,2m,2.5m,3m,3.5m,4m,4.5m,5m).

           

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