NTS Serie Roboter

Der Roboter der NTS Reihe kann ohne Schiene auf 2 oder 3 EFEM FOUPs zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit höchster Präzision zu bewegen.
  • NTS10

    NTS10

    *Der Standard-Roboterarm beinhaltet keinen Greifer.

NTS SERIE ROBOTER:

NTS10 Einzelarm
NTS20 Doppelarm

Anwendungen:

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Layoutbeispiel

Ein einzelner Roboter der NTS Serie kann ohne Schiene auf alle EFEMs mit 2 bis 3 FOUPs zugreifen.

SPEZIFIKATION ZEIGEN

NTS Serie SPEZIFIKATIONEN

Artikel Standard Option
Modell NTS10 NTS20 -
Bauweise Horizontaler Gelenktyp -
Arm Einzelarm Doppelarm -
Freiheitsgrade (Achsen) 4 5 -
Bewegungsbereich θ1-Achse (Rotation JT2) (°) 340 -
Z-Achse (auf/ab JT3) (㎜) 470 -
θ2-Achse (Rotation JT4) (°) 340 -
H1-Achse (Rotation JT6) (°) 340 -
H2-Achse (Rotation JT7) (°) - 340 -
Maximale Reichweite (mm) 1066 -
Wiederholgenauigkeit (mm) ✽1 ±0.1 (Wafer-Mittelpunkt) -
Reinheit ✽2 ISO-Klasse 1 -
Handspezifikation ✽3 - - Kantengreifer / Vakuum
Steuergerät D60 Teach Pendant
Roboterkabel (1-5m) ✽4 Zusätzliche Bedieneinheit
Software Standard-Software für den Betrieb KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
Handbuch Bedienungshandbuch -
Communication command manual -
Einführungsverfahren für integrierte Paketsoftware (K-Fast) -
Andere - Aligner
- Mapping Sensor

✽1: Die Abbildung entspricht ISO9283.

✽2:Gemessen in unserer Reinraumkabine.

✽3:Der Standard-Roboterarm beinhaltet keinen Greifer.

✽4:Wählen Sie ein Roboterkabel mit einer Länge zwischen 1 und 5 Metern (1m,2m,2.5m,3m,3.5m,4m,4.5m,5m).

           

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