Die Wafertransferroboter von Kawasaki haben den weltweit größten Marktanteil.
Sie entsprechen den Normen SEMI-F47 und SEMI-S2 und können auf 3 bis 4 FOUPS ohne Spur zugreifen.
NX series
Dank der kompakten Armkonstruktion ist eine Installation auf kleinem Raum möglich.
NX420
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 736mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafertransferroboter
- Mounting Boden
- Series NX-Serie
TTJ series
Hochgeschwindigkeits-Transfer in Hoch- und Tiefpass-Linien, dank eines einzigartigen steifen Teleskopmechanismus.
TTJ10
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1067.2mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafertransferroboter
- Mounting Boden
- Series TTJ-Serie
TTJ20
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1067.2mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien —
- Mounting Boden
- Series TTJ-Serie
NTH series
Der lange Arm, der von der Mitte der Basis versetzt ist, kann 4 FOUP ohne Linearachse erreichen.
NTH20
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1226.6mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafertransferroboter
- Mounting Boden
- Series NTH-Serie
NTJ series
Der Original-Antriebsmechanismus sorgt für hochpräzise und reibungslose Abläufe.
NTJ20
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1067.2mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafertransferroboter
- Mounting Boden
- Series NTJ-Serie