Halbleiter

Halbleiter

Präzise und anpassbare Robotertechnik für eine sich schnell wandelnde Branche

Im Laufe einer Generation hat sich die Halbleiterindustrie von einer Nischenbesonderheit zu einem grundlegenden Motor der Weltwirtschaft entwickelt. Fallende Produktionskosten, sich rasant verbessernde Fertigungstechniken und expandierende Märkte bieten alle neue Möglichkeiten für wendige Hersteller. Zur gleichen Zeit stellen abrupte Veränderungen im Technologiekonsum Herausforderungen dar, die energische und kostenbewusste Antworten verlangen. Heutige Halbleiterwafer-Fabriken erfordern weitgehende Automatisierung und berührungslose Fertigungsmöglichkeiten von ihren Zulieferern. Kawasakis spezialisierte Hochleistungs-Handhabungsroboter spielen eine wesentliche Rolle in der automatisierten Verarbeitung von unbearbeiteten Siliziumwafern zu integrierten Schaltungen und durch umfangreiche Zusammenarbeit mit Kunden sind wir zum führenden Anbieter von integrierter atmosphärischer Robotertechnik geworden.

Überflügeln Sie die Konkurrenz durch vielseitige, anpassbare Automatisierung

Das führende Angebot von kompakten, genauen und schnellen Halbleiterrobotern von Kawasaki Robotics ermöglicht Herstellern, den Transfer und die Logistik für Siliziumwafer innerhalb des Herstellungsprozesses von integrierten Schaltungen zu automatisieren und heutige hohe Durchsatzanforderungen zu erfüllen. Unsere Reinraumroboter der ISO-Klasse 1 können 300 mm und 450 mm Wafer in der Fertigung ohne Beschädigung oder Störung handhaben und Wafer von FOUPs (Behälter zum Wafer-Transport) zu Werkzeugkammern bewegen. Kawasaki Roboter reduzieren Fehlerquoten, verbessern die Qualität und erhöhen den Durchsatz.

Mit flexiblen Automatisierungslösungen von Kawasaki Robotics können Halbleiter-Ausrüstungshersteller sicher sein, ihren Wettbewerbsvorteil zu wahren.

Anwendungen

Materialhandhabung

Materialhandhabung

Als Handhabung bezeichnet man einen Arbeitsvorgang, bei dem Material, Bauteile oder Produkte von einem Ort an einen anderen Ort verbracht werden. Diesen Arbeitsvorgang findet man nicht nur im verarbeitenden Gewerbe, sondern in nahezu allen Industriezweigen vor.
In vielen Industriezweigen kommen dabei Industrieroboter besonders häufig zum Einsatz, wenn es um den zügigen Transport kleiner Bauteile oder die Handhabung großer Bauteile geht, die aufgrund ihres hohen Gewichts nicht von Menschenhand transportiert werden können.

Maschinenbeschickung

Maschinenbeschickung

Die Vorgänge des Be- und Entladens sind für die Maschinenindustrie unverzichtbar. Unter diese Kategorie fällt beispielsweise das Beschicken von NC-Maschinen und das Entfernen der Teile nach der Bearbeitung. Das Zuführen von Bearbeitungsmaterial für Schmiedemaschinen und Pressen fällt ebenfalls unter den Begriff Be- und Entladen.

Wafertransfer

Wafertransfer

Als Wafer-Transport bezeichnet man die Handhabung der Wafers, bei der diese einer Halbleiterproduktionsmaschine zwecks Herstellung von Halbleitern zugeführt werden. Da hierbei alle Bewegungen präzise, schnell und reibungslos ablaufen müssen, werden hierfür Reinraumroboter verwendet.